[發明專利]同時電子檢測有效
| 申請號: | 201110122317.9 | 申請日: | 2011-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN102262997A | 公開(公告)日: | 2011-11-30 |
| 發明(設計)人: | P.C.蒂梅杰;B.H.弗雷塔格;S.拉扎爾 | 申請(專利權)人: | FEI公司 |
| 主分類號: | H01J37/28 | 分類號: | H01J37/28;H01J37/244;G01N23/04;G01N23/22 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 馬永利;王忠忠 |
| 地址: | 美國俄*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 同時 電子 檢測 | ||
1.?一種透射電子顯微鏡(300,400,500,600,700),其包括:
高能電子源(302);
電子聚焦鏡筒(304),其用于把來自所述高能電子源的電子聚焦成束并且將其掃描過樣品;
分散設備(322,412),其用于分散已穿過樣品的具有不同能量的電子;
第一電子檢測器(334,426);
用于把電子投射到第一檢測器上的電子光學元件(332,424);以及
用于檢測電子的第二檢測器(340,420,502,628L,702),其特征在于:
???????第一電子檢測器通過記錄多個點處的電子強度來記錄圖像或光譜;
???????隨著所述電子聚焦鏡筒將所述高能電子束掃描過樣品,第二檢測器快速記錄區域上的電子強度改變;
???????第二檢測器被定位在能量分散平面內或者基本上與所述能量分散平面靠近;以及
???????第二檢測器不會阻擋電子進入第一檢測器。
2.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其中:
第一檢測器是攝影機;以及
第二檢測器是STEM檢測器。
3.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其中:
所述分散設備將所述束分離成第一能量范圍和第二能量范圍;
第一檢測器檢測處于第一能量范圍內的電子;以及
第二檢測器檢測處于第二能量范圍內的電子。
4.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其中,所述棱鏡被調節成使得第一檢測器檢測核心損失電子,并且使得第二檢測器檢測處于零損失峰值中的電子。
5.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其中,第二檢測器被定位在所述分散設備與用于將電子投射到第一檢測器上的所述電子光學元件之間。
6.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其中,第一檢測器檢測具有大于100eV的能量損失的電子,并且其中第二檢測器檢測具有小于100eV的能量損失的電子。
7.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其還包括處于能量分散平面內或附近的能量選擇狹縫(328,418,528,628,728),并且其中第二檢測器被定位在所述能量選擇狹縫前方,或者其中所述檢測器包括所述能量選擇狹縫的一部分。
8.?權利要求1的透射電子顯微鏡,其還包括第三電子檢測器,第二和第三檢測器的其中之一檢測在所述狹縫的一側穿過的電子,并且第二和第三檢測器當中的另一個檢測在所述狹縫的另一側穿過的電子。
9.?一種分析樣品的方法,其包括:
將電子束導向樣品;
利用分散設備,在電子穿過樣品之后將所述電子分離成第一能量范圍和第二能量范圍;
在確定電子的能量的第一檢測器中檢測處于第一能量范圍內的電子;
其特征在于,在第二檢測器中檢測處于第二能量范圍內的電子,所述第二檢測器被定位在所述分散設備后方并且產生與處于第二能量范圍內的電子的數目成比例的信號。
10.?權利要求9的方法,其中,檢測處于第一能量范圍內的電子包括檢測核心損失電子,并且其中檢測處于第二能量范圍內的電子包括檢測零損失電子。
11.?權利要求9的方法,其中:
將電子分離成第一能量范圍和第二能量范圍包括令所述電子穿過棱鏡;
檢測處于第一能量范圍內的電子包括令處于第一能量范圍內的電子穿過能量選擇狹縫;以及
其中第二檢測器被定位在所述能量選擇狹縫的一部分處或其前方,以便檢測沒有穿過所述狹縫的至少其中一些電子。
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