1.一種單體沉積設備，該單體沉積設備包括：

主腔室，在該主腔室中將單體沉積在基板上；

單體腔室，該單體腔室被構造成收納處于蒸氣狀態的單體；

閘門，該閘門被構造成將所述單體腔室打開，從而將單體從所述單體腔室放出到所述主腔室；

單體回收單元，該單體回收單元被構造成從自所述單體腔室排放到外部的氣體回收單體；

第一真空泵，該第一真空泵連接至所述主腔室或所述單體回收單元，并且被構造成抽吸所述主腔室或所述單體腔室中的單體或氣體；

第一閥，該第一閥被構造成打開或關閉所述主腔室和所述第一真空泵之間的流動路徑；以及

第二閥，該第二閥被構造成打開或關閉所述單體回收單元和所述第一真空泵之間的流動路徑。

2.根據權利要求1所述的單體沉積設備，其中所述單體回收單元為單體冷捕集器，該單體冷捕集器被構造成利用從外部提供的制冷劑將處于蒸氣狀態的單體凝結并回收。

3.根據權利要求1所述的單體沉積設備，該單體沉積設備還包括第二真空泵，該第二真空泵連接至所述主腔室并被構造成抽吸所述主腔室中的單體或氣體。

4.一種使用權利要求1所述的單體沉積設備排出單體的方法，該方法包括：

第一排放操作，在該第一排放操作中，當單體正被從所述單體腔室放出到所述主腔室并且正在執行沉積過程時，所述主腔室和所述第一真空泵之間的流動路徑被所述第一閥打開，而所述單體回收單元和所述第一真空泵之間的流動路徑被所述第二閥關閉，從而通過所述第一閥和所述第一真空泵將所述主腔室中的單體或氣體排出；和

第二排放操作，在該第二排放操作中，當停止向所述單體腔室供應單體而供應用于凈化將所述單體腔室連接至外部的流動路徑的凈化氣體時，所述主腔室和所述第一真空泵之間的所述流動路徑被所述第一閥關閉，而所述單體回收單元和所述第一真空泵之間的所述流動路徑被所述第二閥打開，從而通過所述單體回收單元、所述第二閥和所述第一真空泵將所述單體腔室中的氣體排出。

5.根據權利要求4所述的方法，該方法還包括第三排放操作，在該第三排放操作中，抽吸所述主腔室中的單體或氣體的第二真空泵連接至所述主腔室，并且所述主腔室中的單體或氣體被所述第二真空泵排出到外部，所述第三排放操作與所述第一排放操作和所述第二排放操作一起執行。