技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種安裝有電子電路芯片、晶體管、電容器、二極管等各種半導(dǎo)體組件的基板等具有間隙的電子零件的洗凈裝置及洗凈方法。

背景技術(shù)

將電子電路芯片(半導(dǎo)體組件等)安裝于基板(含晶圓)所構(gòu)成的電子零件，存在有由基板與各種電子電路芯片的焊接部位所形成的間隙或微細(xì)的構(gòu)造部。以下，將上述間隙或微細(xì)的構(gòu)造部統(tǒng)稱為間隙。例如，在倒裝芯片球柵格陣列(以下稱為FC-BGA)型的半導(dǎo)體安裝基板上，由半導(dǎo)體組件所構(gòu)成的電子電路芯片的背面整體配置多個(gè)焊料凸塊，通過將這些焊料凸塊熔接于基板來構(gòu)成，但電子電路芯片與基板間的間隙只有約0.05mm。因此，焊料熔接后，在間隙容易殘留焊料凸塊熔接于基板時(shí)所使用的助焊劑、焊料殘?jiān)?、金屬雜質(zhì)等微細(xì)的無用物。這些無用物成為電子零件的性能不良(例如電路短路)或產(chǎn)品良率降低等的原因。因此，在用密封劑將電子零件被覆作成最后產(chǎn)品之前，要進(jìn)行這些無用物的洗凈除去。然而，一般而言，不易使洗凈液滲入電子零件的洗凈對(duì)象部位(間隙等)，或不易從洗凈對(duì)象部位使無用物溶出，因此，電子零件的洗凈較其表面的洗凈困難。

作為電子零件中的洗凈對(duì)象部位的洗凈，有超聲波洗凈方法，其為將電子零件浸漬于產(chǎn)生超聲波的洗凈液內(nèi)，通過超聲波振動(dòng)將無用物從電子零件剝離并加以除去。然而，超聲波洗凈方法中，有無法期望對(duì)洗凈超聲波不易傳送的部位有效洗凈等限制。并且，有時(shí)會(huì)因超聲波振動(dòng)而使零件刮傷、破損，無法廣泛應(yīng)用于電子零件的洗凈。

因此，一直以來，提出了噴嘴洗凈方法，其為從洗凈噴嘴將洗凈液朝電子零件的角部噴射而流入零件內(nèi)部，由此進(jìn)行電子零件的洗凈。此種方法使洗凈液從電子電路芯片(半導(dǎo)體組件)的角部流入零件內(nèi)部，由此沿電子電路芯片的端緣形成高速流動(dòng)，由此使接觸于高速流動(dòng)的窄間隙端緣側(cè)形成負(fù)壓，促進(jìn)對(duì)洗凈對(duì)象部位(間隙等)的洗凈液的滲透(專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-300294號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

然而，現(xiàn)有洗凈方法中，洗凈步驟內(nèi)外的自動(dòng)化不易，且有效率地實(shí)施洗凈有其困難。

本發(fā)明的目的在于提供一種具有高洗凈效果的電子零件的洗凈裝置及洗凈方法。

本發(fā)明的電子零件的洗凈裝置，洗凈電子零件的洗凈對(duì)象部位，其特征在于：

具備向夾著該洗凈對(duì)象部位的多個(gè)噴射區(qū)域分別噴射洗凈液的多個(gè)噴射部；

該多個(gè)噴射區(qū)域分別為線狀；

該多個(gè)噴射部分別具有噴射圖案，該噴射圖案，從該噴射區(qū)域延伸方向觀察的噴射方向相對(duì)包含該噴射區(qū)域的面成為垂直；

該多個(gè)噴射部配置成該多個(gè)噴射區(qū)域成為相互并行，使從該多個(gè)噴射部噴射的該洗凈液碰撞該多個(gè)噴射區(qū)域，由此產(chǎn)生向該洗凈對(duì)象部位的洗凈液流。

此處，所謂多個(gè)噴射區(qū)域相互并行，雖包含相互平行的狀態(tài)，但不僅包含平行狀態(tài)，亦包含兩者以角度差5°以內(nèi)的微小角度交叉的狀態(tài)。另外，所謂相對(duì)包含噴射區(qū)域的面成為垂直，雖包含相對(duì)該面成為垂直的方向，但不僅包含垂直方向，亦包含相對(duì)該面成為85°～95°的角度范圍的方向。另外，所謂線狀，雖最佳為直線狀，但亦包含平緩曲率的曲線狀或波線狀。

從各噴射部噴射的洗凈液碰撞噴射區(qū)域而分支。由此，相互逆向的洗凈液流沿含噴射區(qū)域的面形成，進(jìn)一步在對(duì)向的噴射區(qū)域間的大致中間位置形成有相互呈逆向的一對(duì)洗凈液流相對(duì)的流域(以下稱為液流相對(duì)域)。因此，當(dāng)配置噴射部以使電子零件的洗凈對(duì)象部位(例如形成于電子零件內(nèi)的間隙)位于相鄰噴射區(qū)域間的大致中間位置時(shí)，位于液流相對(duì)域的相互逆向的洗凈液流會(huì)流入洗凈對(duì)象部位，由此洗凈此處。

為有效發(fā)揮以上的洗凈效果，本發(fā)明較佳地實(shí)施以下的方式。

較佳地，該洗凈對(duì)象部位包含向該噴射區(qū)域開放的該電子零件的間隙。

通過本發(fā)明能夠較佳地洗凈的電子零件具備基板或晶圓、及安裝于該基板或該晶圓的電子電路芯片；該間隙形成于該基板或該晶圓與該電子電路芯片之間。

另外，較佳地進(jìn)一步具備使該電子零件從夾著該洗凈對(duì)象部位的一側(cè)的該噴射區(qū)域向另一側(cè)的該噴射區(qū)域移動(dòng)的搬送部。由此，當(dāng)電子零件通過搬送部移動(dòng)時(shí)，電子零件依序通過洗凈液流彼此相對(duì)的液流相對(duì)域(形成于對(duì)向的噴射區(qū)域的大致中間位置)。由此，通過相互逆向的雙向的洗凈液流將洗凈對(duì)象部位依次洗凈。