[實(shí)用新型]一種長壽命濺射靶材有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020552221.7 | 申請日： | 2010-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN201793723U | 公開（公告）日： | 2011-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄭文翔 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省余姚市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 壽命 濺射 | ||
1.一種長壽命濺射靶材，包括濺射面，其特征在于，所述濺射面的表面包括兩個濺射區(qū)域，沿徑向方向由外到里依次為第一濺射區(qū)域和第二濺射區(qū)域，所述第二濺射區(qū)域高于第一濺射區(qū)域，所述兩個濺射區(qū)域的中心與所述濺射靶材的中心同心。
2.如權(quán)利要求1所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第一濺射區(qū)域?yàn)榄h(huán)形，具有第一外徑和第一內(nèi)徑，所述第一外徑范圍為323.218mm-323.618mm，所述第一內(nèi)徑范圍為280.05mm-280.45mm。
3.如權(quán)利要求1所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第二濺射區(qū)域?yàn)閳A形，其直徑范圍為255.8mm-256.2mm
4.如權(quán)利要求1所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第二濺射區(qū)域比第一濺射區(qū)域高6mm-8mm。
5.如權(quán)利要求1所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第二濺射區(qū)域包括第三濺射區(qū)域和第四濺射區(qū)域，所述第三濺射區(qū)域和第四濺射區(qū)域高度不同。
6.如權(quán)利要求5所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第三濺射區(qū)域比第一濺射區(qū)域高6mm-8mm。
7.如權(quán)利要求5所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第四濺射區(qū)域比第一濺射區(qū)域高3mm-5mm。
8.如權(quán)利要求5所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第三濺射區(qū)域?yàn)榄h(huán)形，具有第三外徑和第三內(nèi)徑，所述第三外徑的范圍為255.8mm-256.2mm，所述第三內(nèi)徑的范圍為209.8mm-210.2mm。
9.如權(quán)利要求5所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，所述第四濺射區(qū)域?yàn)閳A形，其直徑范圍為203.75mm-204.25mm。
10.如權(quán)利要求1所述的一種長壽命濺射靶材，其特征在于，還包括冷卻面，所述冷卻面在所述濺射面的背面。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
