技術領域

本發明涉及一種組合式探針頭，尤其涉及一種應用于垂直式探針卡的組合式探針頭。

背景技術

晶圓測試時，測試儀器通常利用一探針卡(probe?card)接觸待測物(device?under?test，DUT)并傳遞測試信號，由此獲取待測物的電氣性質，而探針卡根據探針的型態可分為懸臂式探針卡(cantilever?probe?card，CPC)與垂直式探針卡(vertical?probe?card，VPC)。

圖1-1和圖1-2顯示一常用垂直式探針卡1的結構示意圖，其主要包含一印刷電路板2、一設于印刷電路板2一側的空間轉換層3、一設于空間轉換層3一側的探針頭4(probe?head)以及設置于該探針頭4的多個探針5。空間轉換層3也可用其它的結構取代，例如人工拉線方式連接印刷電路板2與基板之間，而該基板的一側則用于設置探針頭4，因此空間轉換層3及其它可替代性的結構可以統稱為空間轉換器。當垂直式探針卡1對一芯片進行測試時，實質上，每一探針5的針尖可抵壓于芯片上的測試焊墊進行電氣傳輸，每一探針5通過自身的彈性變形來吸收測試時的反向應力。圖1-1顯示的探針頭4為一兩板式探針頭4，該探針頭4包含一上導板6(upper?die，UD)、一下導板7(lower?die，LD)以及一定位片8；該上、下導板6，7可互相組合并于兩者之間形成一布針空間9，該定位片8則設置于該布針空間9內。其中，該上導板6、下導板7及該定位片8于各自對應探針5的位置開設有多個徑寬針孔10，這些針孔10的尺寸對應于探針5的針徑。因此，當探針5進行安裝時，每一探針5可先穿過定位片8及下導板7的對應針孔10而直立，再于定位片8上覆蓋上導板6，使得探針5得以穿過上導板6的對應針孔10以完成組裝。圖1-2則顯示另一種常用的三板式探針頭4的結構示意圖，其是于上導板6與下導板7之間再設置一中導板11(middle?die，MD)，因此可適用于較長的探針5，并減少金屬加工、組裝時的困難度。

垂直式探針卡1進行頻繁的測試作業后，設置于探針頭4的這些探針5容易產生程度不同的磨耗，因此必須常常進行更換與維修。實際上，在更換探針5的過程中，必須先將上導板6自探針頭4取下，再將欲更換的探針5取出，并重新設置一新的探針5。然而，探針5尺寸十分微小精密，且每一探針5彼此排列緊密，再加上該定位片8為非固定結構，因此在取下上導板6或是抽取探針5時，容易將定位片8連同翻起，導致其它無需更換的探針5受到波及，因而被連帶抽離，如此反而需要重新進行其它探針5的設置工作，而且還增添了維修成本提高、人工維修時間耗時的問題，尤其對于高針腳數(high?pin?count)探針卡的影響更甚。

發明內容

因此，本發明的目的在于解決上述問題，通過將垂直式探針卡的布針區域分區，避免探針在維修時相互干擾而提高維修成本。

為了達成前述目的，本發明提出的組合式探針頭通過設計子探針頭或是子上導板的方式區隔探針的布針空間而達成。根據本發明的一個實施例，該組合式探針頭包含：一定位板以及多個子探針頭，其中定位板包含多個固定部，每一子探針頭包含多個相對應的子導板以及插設于這些子導板間的多個探針，且每一子探針頭固設于對應的固定部以完成組合及對位。

根據本發明的另一實施例，該組合式探針頭包含一下導板以及多個子上導板，其中每一子上導板固設于該下導板的預設區域，并通過子上導板區隔不同的布針區域。

并且本發明提供不同的組合式探針頭的組裝對位方法，在第一種組合式探針頭的組裝對位方法中，該組合式探針頭包含一定位板以及多個子探針頭，每一子探針頭插設有多個探針；其中多個子探針頭組合于該定位板后，先通過一針點對位單元進行各個子探針頭間的準確對位，以定位所有探針的針尖分布，然后再將定位后的子探針頭鎖固于該定位板。

因此，通過本發明，一垂直式探針卡的布針區域可分別區隔而避免維修時相互干涉。有關本發明的詳細技術內容及較佳實施例，配合圖式說明如后。

附圖說明

本發明的實施方式是結合附圖進行描述的：

圖1-1為已知一垂直式探針卡的結構示圖；

圖1-2為已知另一垂直式探針卡的結構示圖；

圖2-1為本發明一組合式探針頭實施例的立體分解示意圖；

圖2-2為本發明一組合式探針頭實施例的剖面分解示意圖；

圖3-1至圖3-2為本發明一組合式探針頭實施例的組裝流程示意圖；

圖4-1為本發明另一組合式探針頭實施例的立體分解示意圖；