1.一種用于修整研磨墊的設備，所述設備包括：

修整器驅動軸，可旋轉并且可豎直移動；

上部修整器凸緣，連接到所述修整器驅動軸；

下部修整器凸緣，修整構件固定到所述下部修整器凸緣；

球面軸承，設置在所述上部修整器凸緣和所述下部修整器凸緣之 間，并且構造成將推力載荷從所述修整器驅動軸傳遞到所述下部修整器 凸緣和所述修整構件，同時允許所述修整構件相對于所述修整器驅動軸 傾斜；

其中，所述上部修整器凸緣是用彈性材料制成的，并且成形為用 作被構造成產生一抵抗所述修整構件傾斜運動的力的片簧。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述上部修整器凸緣 具有在0.5×10⁴N/m到2×10⁴N/m的范圍中的彈簧常數。

3.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述上部修整器凸緣 構造成允許所述修整構件具有的傾斜剛度在12.5Nm/rad到50Nm/rad的范 圍中。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述上部修整器凸緣 固定到所述下部修整器凸緣。

5.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括：

密封構件，設置在上部修整器凸緣和下部修整器凸緣之間，

其中所述球面軸承位于在所述上部修整器凸緣和下部修整器凸緣 之間形成的空間中，和

所述空間由所述密封構件密封。

6.如權利要求1所述的設備，其特征在于，

所述上部修整器凸緣用作扭矩傳遞構件，其構造成將所述修整器 驅動軸的扭矩傳遞到所述修整構件。

7.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述修整構件可移除 地連接到所述下部修整器凸緣。

8.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括：

覆蓋件，設置成圍繞所述上部修整器凸緣的至少一部分。

9.一種化學機械研磨設備，包括：

研磨臺，用于支撐研磨墊；

頂環單元，構造成將工件壓靠在研磨墊上，同時旋轉工件；

液體供應裝置，構造成將研磨液供應到研磨墊上；和

根據權利要求1用于修整研磨墊的設備。

10.一種化學機械研磨方法，包括：

利用如權利要求9所述的化學機械研磨設備研磨工件。