技術領域

本實用新型涉及一種改進的研磨上盤結構，屬于晶片研磨加工領域。

背景技術

現有技術中，在整個晶片研磨加工過程中，所用的研磨上盤結構如圖1所示，即包括研磨上盤1’、固定安裝在研磨上盤1’上的提拉支架2’以及用于提拉研磨上盤1’的提拉裝置3’，所述提拉支架2’上部中空設置，且提拉裝置3’的提拉端穿過提拉支架2’的上部放置，另外提拉支架2’之間還設置有加強筋4’，以防止提拉裝置3’對研磨上盤1’進行提拉過程中影響研磨上盤結構的穩定性，由此可知，現有技術中所用的研磨上盤結構的總體重量較大，新安裝的研磨上盤如果采用這種結構，將會加劇在研磨過程中的研磨盤面磨損，從而降低研磨盤面的使用壽命，或者提高研磨盤面的維修成本，同時，因為研磨盤面磨損將會降低研磨上盤結構的重量，則如果整個研磨加工過程都應用這種研磨上盤結構，則可能造成相同時間內，新的研磨盤研磨加工后的產品與舊的研磨盤研磨加工后的產品不一致，造成晶片加工的不可控。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術的不足，提供一種改進的研磨上盤結構，其主要應用于新安裝的研磨機，則一方面可以降低研磨盤面的磨損，減少維修成本，另一方面還可以基本維持用這個研磨上盤結構研磨加工出的產品，與后期使用現有技術中所用研磨上盤結構研磨加工產品具有一致性。

為實現以上的技術目的，本實用新型將采取以下的技術方案：

一種改進的研磨上盤結構，包括研磨上盤、通過支柱固定支撐在研磨上盤上的研磨砂液導槽、研磨上盤提拉支架以及通過研磨上盤提拉支架以提拉研磨上盤的提拉裝置，所述研磨上盤提拉支架采用鋁合金制作而成。

所述研磨上盤提拉支架固定安裝在研磨砂液導槽上。

根據以上的技術方案，可以實現以下的有益效果：

本實用新型將研磨上盤提拉支架采用鋁合金制作而成，與現有技術中應用鋼板制作研磨上盤提拉支架相比，極大地降低了研磨上盤提拉支架的重量，即降低了本實用新型所述改進的研磨上盤結構；另外，本實用新型將研磨上盤提拉支架固定安裝在研磨砂液導槽上，則可以減少研磨上盤提拉支架長度，即進一步降低研磨上盤提拉支架的重量。

附圖說明

圖1是現有技術中的研磨上盤結構的示意圖；

圖2是本實用新型所述研磨上盤結構的示意圖。

具體實施方式

以下將結合附圖詳細地說明本實用新型的技術方案。

如圖1所示，本實用新型所述的改進的研磨上盤結構，包括研磨上盤1、通過支柱2固定支撐在研磨上盤1上的研磨砂液導槽3、研磨上盤提拉支架4以及通過研磨上盤提拉支架4以提拉研磨上盤1的提拉裝置5，所述研磨上盤提拉支架4采用鋁合金制作而成，且該研磨上盤提拉支架4固定安裝在研磨砂液導槽3上。