技術領域

本實用新型涉及一種為傳輸裝置提供動力的驅動機構，尤其涉及一種驅動真空腔內的用于傳輸基片的滾輪裝置的非接觸式滾輪裝置驅動機構。

背景技術

玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機發光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統可包括一或多個制程處理室，以進行前述所述制程。目前趨勢面板加工朝向大面積基材尺寸發展，以使基材上可形成更多顯示器、或制造更大型的顯示器以及更大型的太陽能面板。

由于此類制程的工藝要求比較嚴格，即必須在真空狀態下以及完全潔凈的空間環境中進行，如有機發光二極管的蒸鍍制程，其沉積物為呈蒸汽狀的有機物質，如有空氣、水汽等存在的話極易與有機蒸鍍材料發生反應進而改變基材上的沉積物成分，影響其發光效應；再如，磁控濺射沉積制程過程中，等離子體輝光放電后相互撞擊空間內惰性氣體使離子化程度達到雪崩狀態，從而大面積、大范圍的撞擊金屬靶材，金屬原子或/和原子團脫離靶材在磁力引導下沉積到基底上，然此過程如密封不好、真空環境不足將嚴重影響輝光放電的程度，同時空氣中的氧氣和水汽也會將靶材侵蝕，導致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄膜受到影響；類此種種玻璃等基材的鍍膜、覆膜制程，都必須要保證整個制程的真空系統的絕對可靠性。這樣，在此類制程中，真空傳動就凸顯了重要意義，真空傳動的設計程度往往考驗著整個制程的真空系統的可靠性。

真空環境的獲得全賴于能夠密封，針對不同真空室的工作要求，在真空傳動系統中，動力源一般由外部傳到內部這樣首先就要解決的是傳動系統與真空室間的密封，同時基于制造的要求必須保證所有傳動的執行機構都能同步運動，而現有技術中，對真空腔的動力傳動大都采用動密封傳動，以往的動密封傳動一方面動密封不容易實現，對于元部件的要求較高，另一方面動密封存在不穩定性，多次重復動作容易導致密封元器件的壞損影響密封要求。在真空腔體內的傳輸采用大量的滾輪、滾珠頂桿等，一方面滾輪與被傳輸器件接觸會產生避免不了的磨損，另一方面大量采用大量的滾輪、滾珠頂桿也會給真空環境帶來污染。腔體內部的同步聯系，由于鏈輪與鏈條或/和同步帶輪與同步帶間的相對運動以及直接的物理接觸會使來自驅動裝置的污染源增多。

因此，急需一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的非接觸式的非接觸式滾輪裝置驅動機構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的采用非接觸式傳輸動力的非接觸式滾輪裝置驅動機構。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案為：提供一種非接觸式滾輪裝置驅動機構，適用于驅動平行安裝于真空腔內的用于傳輸基片的滾輪裝置，所述非接觸式滾輪裝置驅動機構包括驅動裝置、磁力傳動裝置及密封蓋，所述真空腔的腔壁開設有安裝孔，所述密封蓋密封地安裝于所述安裝孔內，所述密封蓋具有中空結構的凸起，所述磁力傳動裝置包括傳動齒輪、外磁環套和內磁環套，所述傳動齒輪套于所述外磁環套外，所述凸起樞接地穿過所述外磁環套并與所述傳動齒輪樞接，所述傳動齒輪與所述驅動裝置連接，所述內磁環套固定套設在所述滾輪裝置的滾輪軸上并容置于所述密封蓋的凸起的中空結構內，所述外磁環套與所述內磁環套均內嵌有永磁體，所述驅動裝置驅動所述傳動齒輪轉動，所述傳動齒輪帶動所述外磁環套旋轉，所述外磁環套帶動所述內磁環套旋轉，所述內磁環套帶動所述滾輪裝置的滾輪軸旋轉。

較佳地，所述外磁環套上開設有外磁鐵安裝槽，所述內磁環套于所述外磁鐵安裝槽相應的位置上開設有內磁鐵安裝槽，所述永磁體分別安裝于所述外磁鐵安裝槽和內磁鐵安裝槽內。采用開設外磁鐵安裝槽和內磁鐵安裝槽并在其內安裝永磁體的方式使所述外磁環套和內磁環套之間建立磁性連接，使本實用新型非接觸式滾輪裝置驅動機構的結構簡單且制造成本低。