[實用新型]機械手有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920078366.5 | 申請日： | 2009-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN201437246U | 公開（公告）日： | 2010-04-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 賀俊 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;成都成芯半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | B25J9/08 | 分類號： | B25J9/08;B25J15/06;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 機械手 | ||
【權利要求書】：
1.一種機械手，包括手臂和吸附面，所述手臂和所述吸附面樞接，所述吸附面上有多個吸附點，通過所述多個吸附點和晶片背面接觸吸附所述晶片，其特征在于：所述吸附點相對于所述吸附面凸出設置。
2.根據(jù)權利要求1所述一種機械手，其特征在于所述多個吸附點和所述晶片背面接觸的接觸點都位于所述晶片的邊緣。
3.根據(jù)權利要求1所述一種機械手，其特征在于所述多個吸附點都和一抽真空機相連。
4.根據(jù)權利要求1所述一種機械手，其特征在于所述手臂和電機相連，由所述電機提供驅動力，控制所述機械手的旋轉和移動。
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