技術領域

本發明涉及壓電振動片、壓電框架以及具有這些的壓電裝置，尤其 涉及即使進一步小型化也可以有效地抑制CI值的上升，且調頻靈敏度S 和剛性都優良的壓電振動片、壓電框架以及具有這些的壓電裝置。

背景技術

就HDD(硬盤驅動器)、移動電腦或IC卡等的小型信息機器、或 移動電話、汽車電話等的移動通訊機器等而言，廣泛使用了壓電振子或 壓電振蕩器等的壓電裝置。

尤其最近，這些壓電裝置隨著搭載這些的電器的小型化、薄型化而 被進一步要求小型化、薄型化。就音叉型壓電振動片而言，為了滿足小 型化的要求一般是縮短振動臂的長度。可是，當振動臂的長度為L，寬 度為W時，壓電振動片的頻率F與W/L²成比例。從而，若縮短振動臂 的長度，則頻率增大。越小型化越會給壓電振動片的剛性帶來影響，從 而不能承受較大的沖擊。

以往，就通過小型化而解決CI值的上升和剛性的降低等的對策而言， 提出了各種各樣的技術。專利文獻1(日本特開2005-341251號公報)公 開了即使小型化也可以抑制其CI值的上升，還可以維持剛性的壓電振動 片。涉及專利文獻1的壓電振動片具有：由壓電材料形成的基部；振動 臂；形成在振動臂上的槽部；以及形成在槽部上的勵振用電極。其中， 振動臂的臂寬朝向前端逐漸變小，從而使得基部側的剛性較大，前端側 的剛性降低。并且，槽部的寬度在基部側逐漸變窄。

通過上述構成，涉及專利文獻1的壓電振動片的振動臂的基部部分 的剛性與前端相比得到了強化，由此提高了壓電振動片的剛性。振動臂 的根部與前端側相比，其剛性得到了強化，由此不會導致二次高頻波的 CI值的降低。涉及專利文獻1的壓電振動片為了進一步提高其剛性，在 槽部上設置多個肋條狀或壁狀的加強部。在基部上沿著寬度方向形成切 口，從而防止朝向振動臂的基部側的振動滲漏，可以進一步抑制CI值。

專利文獻2(日本特開2006-33065號公報)公開了抑制CI值的上升 的同時能夠實現小型化的壓電振動片。涉及專利文獻2的壓電振動片具 有：由壓電材料形成的基部；振動臂；形成在振動臂表面及里面的槽部； 以及形成在槽部上的勵振用電極。其中，形成在振動臂的表面或里面的 任何一面的槽部延長至振動臂的前端。在沒有延長的另一面上從槽部至 前端側設置有頻率調整用的金屬覆蓋部。涉及專利文獻2的壓電振動片 通過延伸至振動臂的前端側的槽部來提高電場率，由此使這一部分的CI 值降低。

形成在壓電振動片的槽部上的勵振電極之間的距離隨著壓電振動片 的小型化而變小，且串聯共振容量變大，使得調頻靈敏度S增大。若調 頻靈敏度S增大，則難以與目標頻率32.768kHz相吻合。

專利文獻3(日本特開2007-60159號公報)為了使調頻靈敏度S變 小，在引出電極上設置了絕緣層，還在絕緣層的上面設置有容量附加電 極。

可是，形成在涉及專利文獻1的振動臂上的槽部被限定在小型化的 壓電振動片的構造上。槽部的面積變小且形成在槽部上的勵振用電極的 形成面積也隨之變小，由此使這一部分的CI值增大。雖然為了維持剛性 而在振動臂上形成加強部，作為振動滲漏的對策還在基部上形成了切口 部，但是壓電振動片越小型化，其加工形成也越困難。越小型化，勵振 電極之間的距離就越短，調頻靈敏度S也變大。由此，使相對于并列連 接容量的變化量增大，難以與目標頻率相吻合。

涉及專利文獻2的壓電振動片可以使槽部面積增大的那一部分的CI 值降低。可是，由于槽部延長至振動臂的前端，因此使延長的那一部分 的剛性降低。相同地越小型化勵振電極之間的距離就越短，且串聯共振 容量增大，由此使調頻靈敏度S也增大。由此，使相對于并列連接容量 的變化量增大，難以與目標頻率相吻合。為了降低調頻靈敏度S，需要減 少串聯共振容量。可是，越串聯共振容量越小，CI值越大。

在根據專利文獻3的制造方法中，存在需要在引出電極上形成絕緣 層，還需要進行設置容量附加電極等的多個復雜的工序的問題點。另外， 以32.768kHz振動的音叉型壓電振動片一般要求在±20ppm至±30ppm 的誤差內進行制造。當具有該±20ppm至±30ppm的誤差的音叉型壓電 振動片用于民生、產業用電器中時，由可變電容器等正確地調整至 32.768kHz。為此，若電容器容量1pF(皮可皮法拉)的調頻靈敏度S不 在大約20ppm以下，頻率調整將非常困難。

發明內容