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[發明專利]發光裝置的制造方法有效

專利信息
申請號: 200910163880.3 申請日: 2003-11-05
公開(公告)號: CN101694871A 公開(公告)日: 2010-04-14
發明(設計)人: 山崎舜平;村上雅一;野村亮二;瀨尾哲史 申請(專利權)人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: H01L51/56 分類號: H01L51/56;B05B13/00
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 何欣亭;李家麟
地址: 日本神奈*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 發光 裝置 制造 方法
【說明書】:

本申請屬分案申請,其母案的申請號為200380108578.9。該母 案的申請日為2003年11月5日。

技術領域

本發明所屬的技術領域是,一種顯示裝置(以下稱為“發光元 件”)的相關技術領域,其基板上具備由陽極、陰極、以及在上述 陽極和陰極之間包夾的利用所謂的電致發光(以下稱為“EL”)現象 發光的薄膜所構成的元件;以及一種電子設備的相關技術領域,其 影像顯示部具備該發光元件。

背景技術

用于影像顯示的顯示器是近代生活中不可或缺的發光元件之 一,從所謂的電視監視器、到近年來快速發展的液晶顯示器,以及 今后將大有發展的有機EL顯示器等,因用途不同而形態各異。特 別是液晶顯示器或有機EL顯示器,屬于以低電壓驅動的發光元件, 從節省能源的觀點看,也是重要的影像顯示器。

其中,有機EL顯示器作為下一代平板顯示器元件,最為引人 矚目。

有機EL顯示器的發光機制是,在電極之間設置由發光體組成 物構成的薄膜(以下稱為“有機薄膜”)并通上電流,由此,從陰極 注入的電子和從陽極注入的空穴在發光體膜中的發光中心再次結 合形成分子激勵子,利用該分子激勵子返回基底狀態時釋放出來的 光子發光。

此外,發光體組成物形成的分子激勵子的種類可以是單重激發 態和三重激發態,但在本說明書中包含任意一種激發態參與發光的 情況。

在這種有機EL顯示器元件(以下稱為“有機EL元件”)中, 通常以小于1μm的薄膜形成有機薄膜。另外,有機EL元件是發光 體膜本身發光的自發光型元件,因此,不需要現有的液晶顯示器所 使用的背光。因此,有機EL元件可以做得非常薄而輕,這是一個 很大的優點。

另外,在例如100~200nm左右的有機薄膜中,如果考慮發光 體組成物膜的載流子移動性的話,從開始注入載流子直到再結合這 段時間大約是數十納秒,即使包含從載流子的再結合直到發光這個 過程,也是在微秒以內的數量級內開始發光。因此,響應速度非常 快也是其特長之一。

進一步,有機EL元件是載流子注入型的發光元件,因此,可 以直流電壓驅動,不易產生噪音。另外,通過形成100nm左右的 均勻超薄膜的有機薄膜并使用適當的有機材料,能夠以數伏電壓驅 動。即,有機EL元件是自發光型元件而且視野角度大,因此,不 僅視覺辨認度好,而且具有體積薄重量輕、響應速度快、直流低壓 驅動等特性,可用作下一代發光元件。

為了制造這種有機EL元件,由發光體組成物構成的薄膜的形 成技術是必不可少的。例如,在液晶顯示器中,為了顯示全彩色, 必須在玻璃基板上規律地形成具有彩色濾波器功能的有機薄膜。另 一方面,在有機EL元件中,用來輸送從電極注入的空穴和電子的 電荷輸送材料、參與發光的發光材料是發光體組成物,必須在電極 之間以薄膜狀形成這些化合物。

形成這種有機薄膜的技術有Langmuir-Blrogett法(LB法)、單 分子層疊膜法、浸漬涂層法、旋涂法、噴墨法、印刷法、或者蒸鍍 法等各種各樣的方法已被開發出來。這其中,尤其是噴墨法具有能 夠高效利用有機材料、因裝置結構簡單而有可能小型化等優點,技 術上也已經接近于實用水平。在專利文獻1等之中公開了有關噴墨 法的基礎技術。

專利文獻1:特開平10-12377號公報

所謂的噴墨法是將現有的打印機所使用的噴墨方式轉用于形 成薄膜的技術,使用包含有機薄膜的材料-發光體組成物的溶液來 代替墨水,或者使用分散液以像素為單位噴涂液滴。液滴中包含的 溶媒蒸發,由此在各個像素上形成了薄膜。通過控制液滴在基板上 的附著位置,能夠形成任意的細微模式。

但是,由于附著在像素(實際上是設置于各像素的像素電極) 上的液滴包含大量的溶媒成分,為了將它們去除,需要有使溶媒成 分揮發的工序(以下稱為“焙燒工序”)。即,在利用噴墨法噴涂液 滴后,將像素整體加熱使溶媒成分揮發,使殘存的溶質(有機薄膜 的材料)形成薄膜。因此,在包含發光體組成物的溶液的溶媒的蒸 氣壓力低的情況下,不僅焙燒工序需要時間,相鄰像素上附著的液 滴也容易摻混在一起,不利于形成細微的薄膜模式。另外,薄膜中 一旦殘存下溶媒成分,溶媒隨著時間而揮發,引起去氣 (degasification)現象,成為引起有機薄膜退化、進而導致發光元 件退化的主要原因。進一步,為了將溶媒成分完全去除而提高加熱 溫度的話,會破壞耐熱性低的有機薄膜的構成。

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