1.一種三維微力測量裝置，包括一減震平臺(3)，在減震平臺 (3)上相距一定位置分別固定有電控三維位移平臺(1)與載物臺(2)， 其特征是，將壓電陶瓷位移平臺(4)通過支架(5)固定在電控三維 位移平臺(1)的Z軸上，硅微三維微力傳感器(6)通過支桿(7) 固定在壓電陶瓷平臺(4)上；硅微三維微力傳感器(6)的惠斯通電 橋(12)將電壓信號輸出至放大運算電路(13)，電壓信號經放大運 算電路(13)放大后輸入到數字顯示模塊(14)中。

2.根據權利要求1所說的三維微力測量裝置，其特征是，硅微 三維微力傳感器(6)的探針(10)朝下。

3.根據權利要求1所說的三維微力測量裝置，其特征是，放大 運算電路(13)擬采用儀表放大器AD620。

4.根據權利要求1所說的三維微力測量裝置，其特征是，數字 顯示模塊(14)由包括了A/D轉換模塊在內的三位半LED顯示芯片 ICL7106組成。

5.根據權利要求2所說的三維微力測量裝置，其特征是，探針 (10)為石英光纖探針，探針尖直徑小于60um。