1.一種用于支承工件的移位裝置，包括：

光傳感器(52)；

支承板(54)，其限定支承板孔口(56)；

平面電機(58)，其平行于所述支承板(54)安置，所述平面電 機(58)具有可通過操作以支承所述工件(40)的第一側(60)和與 所述支承板(54)相對的第二側(62)；以及

二維光柵(68)，其安置于所述平面電機(58)的所述第二側上， 所述二維光柵(68)通過所述支承板孔口(56)與所述光傳感器(52) 光通信，

其中，在操作中，所述光傳感器(52)位于橫過所述平面電機(58) 的所述工件(40)上的工作點(70)的對面。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述光傳感器(52)是六自 由度光傳感器。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中所述二維光柵(68)是透明 主體，且在所述透明主體的一側上印刷有光柵圖案，所述印刷側遠離 所述平面電機(58)的所述第一側(60)。

4.根據權利要求1所述的裝置，其還包括鄰近所述二維光柵(68) 安置的光柵以形成三維光柵。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中：

所述光傳感器(52)為多個；

該支承板(54)限定的所述支承板孔口(56)為多個；

所述二維光柵(68)通過所述多個支承板孔口(56)與所述多個 光傳感器(52)光通信；

所述多個光傳感器(52)的數目至少為起決定性作用的測量數目， 該起決定性作用的測量數目為確定具有六自由度的平面位置所需的 光傳感器的數目；并且

在操作中，所述多個光傳感器(52)位于橫過所述平面電機(58) 的所述工件(40)上的工作點(70)的對面。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述多個光傳感器(52)的 數目大于起決定性作用的測量數目，還包括處理器(53)，所述處理 器(53)從所述多個光傳感器(52)接收多個位置信息信號(51)且 可通過操作以將所述多個位置信息信號(51)轉換成所述平面電機 (58)的計算位置。

7.根據權利要求6所述的裝置，其中所述處理器(53)可通過操 作以利用選自平均化和位置加權的方法將所述多個位置信息信號 (51)轉換成該計算位置。

8.根據權利要求1或5所述的裝置，其中所述平面電機(58)限 定有電機孔口(150)且所述二維光柵(68)在所述平面電機(58) 的所述第一側(60)處安置于所述電機孔口(150)上方。

9.根據權利要求1或5所述的裝置，其中所述平面電機(58)具 有透明部分(152)且所述二維光柵(68)在所述平面電機(58)的 所述第一側(60)上安置于所述透明部分(152)上。