技術領域

本發明涉及有機EL顯示裝置及其制造方法。

背景技術

近年來，液晶顯示裝置在多種多樣的領域中作為平板顯示器被廣泛應用。但是，液晶顯示裝置因視角不同而對比度和色彩產生很大變化，或者需要背光源等光源，因此，低耗電化困難、在薄型化和輕量化方面存在局限性等依然是重要的課題。于是近年，作為替代液晶顯示裝置的顯示裝置，人們期待著例如使用了有機電致發光(Electroluminescence)(以下為有機EL)的自發光型顯示裝置。有機EL元件是使電流在被陽極和陰極夾持的有機EL層流動，由此，構成有機EL層的有機分子進行發光。使用了有機EL元件的有機EL顯示裝置是自發光型，因此在薄型化和輕量化、低耗能化方面性能優異。另外，使用了有機EL元件的有機EL顯示裝置具有廣視角性，因此，作為下一代平板顯示器的備選引起了廣泛的關注。實際上，有效利用其薄度和廣視角性，作為便攜式音樂設備和手機的顯示器正在被廣泛應用。

上述有機EL元件在一般情況下由于形成它的功能性材料的種類不同而制造方法不同。例如，在作為功能性材料使用高分子有機化合物的情況下，功能性材料通過旋轉涂敷方式和絲網印刷方式、噴墨方式等濕式法制膜。另一方面，在作為功能性材料使用低分子有機化合物的情況下，多通過真空蒸鍍方式和濺射方式等干式法制膜。

在上述的制膜方法中，噴墨方式與其他方式相比，通常具有以下優異的優點：制膜材料的使用效率高，且不需要掩膜就能夠構圖(patterning)和能夠容易地應對大面積的有機EL顯示裝置的制造等。因此，以往積極地進行了關于通過噴墨方式得到的有機EL元件的研究。

例如，在專利文獻1中公開有，在制作具有在電極之間含有導電性分子的空穴注入輸送層、含有發光性的有機分子的發光層的有機EL元件的情況下，使用噴墨式記錄頭，形成空穴注入輸送層、發光層。

在上述噴墨方式中，一般地形成有用于將噴出的液滴保持在像素區域內的障壁層(bank；堤壩)。該堤壩多具有憎液性，使得所噴出的液滴不會泄漏到鄰接像素區域。例如，由專利文獻2公開有一種方法：使用包含氟化合物等的氣體進行等離子體處理，由此，與像素區域內的電極表面相比更加提高堤壩的非親和性(憎液性)，由此將液滴閉鎖在像素區域內。另外，如專利文獻2所述，即使不使用等離子體處理，而使用例如含有氟化合物的材料來形成堤壩，由此也能夠賦予堤壩對于液滴的憎液性。進一步，通過進行UV處理和基于氧氣等的等離子體處理，只要對堤壩的內側的像素區域賦予親液性，對于堤壩和像素區域內的液滴的親和性的差異就更加顯著，因此能夠進一步確實地實現向像素區域內的液滴保持。

在專利文獻3中記載有通過遍及多個像素而延伸形成空穴輸送層、電子輸送層、陰極，能夠削減空穴輸送層和電子輸送層的回蝕(etchback)工序、削減障壁層形成工序。另外，記載有通過將發光層做成比陽極大的相同形狀，能夠防止在陽極端部產生的漏電電流、電場集中。在專利文獻3中記載有，假設空穴輸送層和電子輸送層是高電阻，根據該假定，防止陽極和陰極的短路。

專利文獻1：特開2000-106278號公報

專利文獻2：特許第3328297號公報

專利文獻3：特開2004-6362號公報

但是，有機EL元件使用的載流子輸送層以對發光層施加足夠的電場的方式制成，因此，一般而言，與發光層相比電阻低、導電性高。另外，為了防止載流子無助于發光而通過發光層，存在如下情況：在載流子輸送層和發光層之間，形成稱為載流子阻擋(blocking)層的、將載流子閉鎖在發光層內的功能性材料層。但是，該載流子阻擋層通常導電率低，因此與發光層相比多數情況形成得非常薄。