[發明專利]凸塊制程有效
| 申請號: | 200810095842.4 | 申請日: | 2008-04-30 |
| 公開(公告)號: | CN101266936A | 公開(公告)日: | 2008-09-17 |
| 發明(設計)人: | 余瑞益;戴豐成 | 申請(專利權)人: | 日月光半導體制造股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人: | 陸嘉 |
| 地址: | 臺灣省高雄市*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 凸塊制程 | ||
1.一種凸塊工藝,包含下列步驟:
提供一晶片,該晶片具有一主動表面及至少一接墊形成于該主動表面上;
覆蓋保護層于該晶片的主動表面上,并裸露出該接墊;
形成凸塊下金屬層于該接墊上;
配置膠膜于該保護層上,并覆蓋該凸塊下金屬層,其中該膠膜為微氣泡膜;
對該膠膜進行選擇性的曝光,使得位于該凸塊下金屬層上方的膠膜受到曝光;
移除該膠膜的曝光部分,并留下該膠膜未曝光的部分,以使得該凸塊下金屬層裸露;
分布錫膏于該凸塊下金屬層上;
在將該晶片上剩余的膠膜曝光后以撕膜機撕除該剩余的膠膜;及
借助一回焊工藝使該錫膏形成金屬凸塊。
2.如權利要求1所述的凸塊工藝,其中該膠膜的曝光部分是以顯影劑去除。
3.如權利要求1所述的凸塊工藝,其中是使用掩膜對該膠膜進行選擇性的曝光。
4.如權利要求1所述的凸塊工藝,其中在所述分布錫膏于該凸塊下金屬層上的步驟之后且在所述在將該晶片上剩余的膠膜曝光后以撕膜機撕除該剩余的膠膜的步驟之前更包括進行另一回焊工藝。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





