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[發(fā)明專利]無定形二氧化硅粉末、其制造方法及半導(dǎo)體密封材料有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200780046589.7 申請(qǐng)日: 2007-12-21
公開(公告)號(hào): CN101563291A 公開(公告)日: 2009-10-21
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 西泰久;梅崎亨 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
主分類號(hào): C01B33/18 分類號(hào): C01B33/18;C01B33/12;C08K3/36;C08L101/00
代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人: 劉新宇;李茂家
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 無定形 二氧化硅 粉末 制造 方法 半導(dǎo)體 密封材料
【權(quán)利要求書】:

1.一種無定形二氧化硅粉末,其特征在于,所述無定形二氧化硅粉末中采用下述原子吸收分光光度法測(cè)得的Al含量以Al2O3換算為0.03~20質(zhì)量%,無定形二氧化硅粉末的平均粒徑為8~50μm,而且,根據(jù)平均粒徑將該無定形二氧化硅粉末分為兩種粉末時(shí),與粒徑大于平均粒徑的粉末相比,粒徑小于平均粒徑的粉末的Al2O3換算含有率更大,粒徑與平均粒徑相等的粉末被算入粒徑大于平均粒徑的粉末中,

原子吸收分光光度法:在鉑皿中準(zhǔn)確稱量1g樣品,將加入了20ml特級(jí)試劑氫氟酸和1ml特級(jí)試劑高氯酸的鉑皿靜置于加熱到300℃的砂浴中15分鐘,然后冷卻到室溫,加入純水配制成25ml溶液,使用原子吸收光度計(jì)通過校正曲線法定量該溶液的Al含量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無定形二氧化硅粉末,所述粒徑小于平均粒徑的粉末與所述粒徑大于平均粒徑的粉末的Al2O3換算含有率的比為1.2~50。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無定形二氧化硅粉末,構(gòu)成所述粒徑大于平均粒徑的粉末的20質(zhì)量%以上或者全部粒子在粒子表面起到深度1μm為止的部分的Al2O3換算含有率為在深度超過1μm的部分的Al2O3換算含有率的1.10倍以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無定形二氧化硅粉末,構(gòu)成所述粒徑大于平均粒徑的粉末的20質(zhì)量%以上或者全部粒子在粒子表面起到深度1μm為止的部分的Al2O3換算含有率為在深度超過1μm的部分的Al2O3換算含有率的1.10倍以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無定形二氧化硅粉末,采用激光衍射散射粒度分布測(cè)定儀測(cè)定的以質(zhì)量為基準(zhǔn)的粒度中,粒度在12μm以下的粒子的累積值為35~60%、粒度在24μm以下的粒子的累積值為40~65%、粒度在64μm以下的粒子的累積值為?85~100%。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無定形二氧化硅粉末,采用激光衍射散射粒度分布測(cè)定儀測(cè)定的以質(zhì)量為基準(zhǔn)的粒度中,粒度在12μm以下的粒子的累積值為35~60%、粒度在24μm以下的粒子的累積值為40~65%、粒度在64μm以下的粒子的累積值為85~100%。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無定形二氧化硅粉末,采用激光衍射散射粒度分布測(cè)定儀測(cè)定的以質(zhì)量為基準(zhǔn)的粒度中,粒度在12μm以下的粒子的累積值為35~60%、粒度在24μm以下的粒子的累積值為40~65%、粒度在64μm以下的粒子的累積值為85~100%。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的無定形二氧化硅粉末,采用激光衍射散射粒度分布測(cè)定儀測(cè)定的以質(zhì)量為基準(zhǔn)的粒度中,粒度在12μm以下的粒子的累積值為35~60%、粒度在24μm以下的粒子的累積值為40~65%、粒度在64μm以下的粒子的累積值為85~100%。

9.根據(jù)權(quán)利要求1~8任一項(xiàng)所述的無定形二氧化硅粉末的制造方法,其特征在于,將每100質(zhì)量份平均粒徑為300μm以下的二氧化硅粉末中配合0.01~25質(zhì)量份平均粒徑為30μm以下的Al源粉末而得到的配合粉末粉碎,制造比上述配合粉末的平均粒徑小30%以上的混合粉末,該混合粉末經(jīng)過火焰處理后分級(jí),調(diào)整粒度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的無定形二氧化硅粉末的制造方法,前述Al源粉末為氧化鋁粉末。

11.一種組合物,其通過使樹脂以及/或者橡膠中含有權(quán)利要求1~8任一項(xiàng)所述的無定形二氧化硅粉末而成。

12.一種半導(dǎo)體密封材料,其由權(quán)利要求11所述的組合物?構(gòu)成,其中樹脂以及/或者橡膠中含有環(huán)氧樹脂、環(huán)氧樹脂的固化劑以及環(huán)氧樹脂的固化促進(jìn)劑。?

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