[發明專利]一種傳送薄基板的滾輪組及使用其進行化學處理的方法有效
| 申請號： | 200710188268.2 | 申請日： | 2007-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN101254859A | 公開（公告）日： | 2008-09-03 |
| 發明（設計）人： | 季靜佳;葛雷漢·雅提斯;施正榮 | 申請（專利權）人： | 無錫尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/05 | 分類號： | B65G49/05;B65G13/00;B65G39/02;B65G49/02;H05K13/00;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃威;徐金偉 |
| 地址： | 214028江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 傳送 薄基板 滾輪 使用 進行 化學 處理 方法 | ||
1、一種傳送薄基板的滾輪組，其特征在于，包括分別固定在上下兩個滾輪軸上的上滾輪和下滾輪，所述上下兩個滾輪軸在各自的主動驅動軸的驅動下使得上滾輪和下滾輪以相同的線速度分別沿順時針方向和逆時針方向相對轉動，從而使得通過該上下滾輪之間的薄基板在該滾輪組的作用下向某一方向移動。
2、根據權利要求1所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪包括固定滾輪(12)和圍繞該固定滾輪(12)外周面固定的多個彈性片(14)。
3、根據權利要求2所述的滾輪組，其特征在于，所述固定滾輪(12)的截面為圓形或多邊形。
4、根據權利要求2所述的滾輪組，其特征在于，所述彈性片(14)的一端或兩端固定在固定滾輪(12)上。
5、根據權利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪的寬度不同于薄基片的寬度。
6、根據權利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪由金屬、金屬氧化物，金屬合金、半導體材料或高分子材料制成。
7、根據權利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述下滾輪由固定滾輪和圍繞該固定滾輪外周面固定的彈性片構成。
8、根據權利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述下滾輪的表面安裝有O型圈或刻有花紋以增加與薄基片的摩擦力。
9、一種使用權利要求1所述的傳送薄基板的滾輪組進行化學處理的方法，其特征在于，使用一組或一組以上的滾輪組使得所述薄基板沿著一個方向不斷移動，從而對所述薄基片使用溶液進行連續濕化學處理。
10、根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述上滾輪包括固定滾輪(12)和圍繞該固定滾輪(12)外周面固定的多個彈性片(14)。
11、根據權利要求10所述的方法，其特征在于，所述固定滾輪(12)的截面為圓形或多邊形。
12、根據權利要求10或11所述的方法，其特征在于，所述彈性片(14)的一端或兩端固定在固定滾輪(12)上。
13、根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪的寬度不同于薄基片的寬度。
14、根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述滾輪組和薄基片由金屬、金屬氧化物，金屬合金、半導體材料或高分子材料制成。
15、根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述下滾輪由固定滾輪和圍繞該固定滾輪外周面固定的彈性片構成。
16、根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述下滾輪的表面安裝有O型圈或刻有花紋以增加與薄基片的摩擦力。
17、根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述溶液為水或化學溶液。
18、根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述連續濕化學處理包括對薄基板進行表面腐蝕、表面沉積、表面清洗、表面圖形定義、水清洗或吹干的步驟。
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