[發明專利]用于移動部件的系統和方法、光刻設備和器件制造方法有效
| 申請號： | 200710086300.6 | 申請日： | 2007-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN101038444A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | M·F·希爾特杰斯;Y·－T·陶;E·T·范唐克拉爾 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亞非;陳景峻 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 移動 部件 系統 方法 光刻 設備 器件 制造 | ||
【權利要求書】：
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