[發明專利]缺陷檢查裝置缺陷檢查方法無效
| 申請號： | 200710086201.8 | 申請日： | 2007-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN101034069A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發明（設計）人： | 岡部浩史;金谷義宏;松本俊彥 | 申請（專利權）人： | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95;G01B11/30;G06T1/00 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 高龍鑫 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 缺陷 檢查 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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