[發(fā)明專利]用于轉(zhuǎn)換數(shù)值孔徑的光學系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710084002.3 | 申請日： | 2007-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN101025474A | 公開（公告）日： | 2007-08-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | Y·弗拉迪米爾斯基;L·賴滋科夫 | 申請（專利權）人： | ASML控股有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00;G02B3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;張志醒 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 轉(zhuǎn)換 數(shù)值孔徑 光學系統(tǒng) | ||
【說明書】：
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