1、一種無可動部件的微閥，其特征在于：主要包括有入口通道(1)、彎通道、擴散通道(6)，其中，入口通道(1)為直通道，在入口通道的尾部，即分岔口(3)處出現分流，一個是繼續向前延伸的直通道，另一個是帶擴散的彎通道，彎通道包括彎通道入口(10)和半圓環通道(2)，彎通道通過彎通道入口(10)與直通道連通，彎通道入口(10)通過半圓環通道(2)與擴散通道(6)連通，分流后的直通道在匯流口(4)處與擴散通道(6)連通；半圓環通道(2)與擴散通道(6)的連接處的過半圓環通道(2)圓心的直線與入口通道(1)的軸線所成的角度α的取值范圍為40°～60°；假設入口通道(1)的寬度為w，與入口通道(1)連通的彎通道入口處的寬度取為2.5w；以入口通道(1)的下端點O為坐標原點，以入口通道(1)的方向為橫軸方向，以與入口方向垂直的方向為縱軸方向，則半圓環通道(2)的原點的坐標為(L+r，R+a)，a的范圍為w/2～w。

2、根據權利要求1所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：可以將N個結構相同的微閥串聯使用，即將第二個微閥(9)的入口與第一個微閥(8)的出口連通，依次此種串聯方法，將第N個微閥的進口與第N-1個微閥的出口連通，第一個微閥的進口為整個串聯結構的進口，第N個微閥的出口為整個串聯結構的出口。

3、根據權利要求2所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：所述的N個微閥的串聯可以以入口通道(1)為軸線，將各個微閥的彎通道依次設置在入口通道(1)的兩側，也可以將各個微閥的彎通道均設置在入口通道(1)的同側。

4、根據權利要求2或權利要求3所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：所述的N的取值范圍為大于等于2。?

5、根據權利要求1所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：組成微閥的各個通道的截面均是矩形。

6、根據權利要求1或權利要求2所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：所述的入口通道(1)的寬度w的取值范圍為50～200微米，入口通道(1)的高度為h，深寬比，即h/w取為1.5～2.5，入口通道1的長度L大于1.5w。

7、根據權利要求1或權利要求2所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：所述的半圓環通道(2)的外圓半徑R取為2～2.5倍的w，內圓半徑r＝R-w。

8、根據權利要求1或權利要求2所述的一種無可動部件的微閥，其特征在于：擴散通道(6)連接彎道出口，其擴散半角β的取值范圍為3°～5°。