[發明專利]單片單晶硅微機械加工的電容式壓力傳感器無效
| 申請號： | 200510092880.0 | 申請日： | 2005-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN1920508A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | 涂相征;李韞言 | 申請（專利權）人： | 李韞言 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100083北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單片 單晶硅 微機 加工 電容 壓力傳感器 | ||
【說明書】：
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