[發明專利]空間光調制裝置、具有該空間光調制裝置的投影機、該空間光調制裝置所使用的微細結構元件的制造方法和利用該方法制造的微細結構元件無效
| 申請號： | 200480000414.9 | 申請日： | 2004-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN1698000A | 公開（公告）日： | 2005-11-16 |
| 發明（設計）人： | 上島俊司;米窪政敏 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/13357 | 分類號： | G02F1/13357;G02F1/1335;G02F1/13;G02B5/02;G02B5/04;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 李崢;楊曉光 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空間 調制 裝置 具有 投影機 使用 微細 結構 元件 制造 方法 利用 | ||
【權利要求書】：
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