[發明專利]結晶裝置和結晶方法無效
| 申請號： | 200310104558.6 | 申請日： | 2003-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN1498989A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 谷口幸夫;松村正清 | 申請（專利權）人： | 株式會社液晶先端技術開發中心 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;H01L21/324;H01L21/477 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 結晶 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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