[發明專利]高純度和超高純度氣體的生產有效
| 申請號： | 03818206.8 | 申請日： | 2003-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN1671461A | 公開（公告）日： | 2005-09-21 |
| 發明（設計）人： | H·薩克塞娜;M·W·阿克利;J·F·比林哈姆;P·A·巴雷特 | 申請（專利權）人： | 普萊克斯技術有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/04 | 分類號： | B01D53/04;B01D53/62 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 韋欣華;龐立志 |
| 地址： | 美國康*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 純度 超高 氣體 生產 | ||
【權利要求書】：
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