[發(fā)明專利]沉積裝置和沉積方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 02103325.0 | 申請日： | 2002-01-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1369573A | 公開（公告）日： | 2002-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 山崎舜平;瀨尾哲史;水上真由美 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/12 | 分類號(hào)： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/40;H01L33/00;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吳立明,張志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 沉積 裝置 方法 | ||
1.一種沉積裝置，該裝置包括：
多個(gè)沉積室；和
在所述沉積室中的多個(gè)蒸發(fā)源；
其中多個(gè)蒸發(fā)源中的每一個(gè)包括至少一種有不同功能的有機(jī)化合物，和
其中具有不同功能的有機(jī)化合物是通過從所述多個(gè)蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)而連續(xù)沉積的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機(jī)化合物層的第1沉積室，
形成第2有機(jī)化合物層的第2沉積室，
形成第3有機(jī)化合物層的第3沉積室。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的沉積裝置，其中：
所述第1有機(jī)化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機(jī)化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機(jī)化合物層發(fā)射藍(lán)光。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的沉積裝置，其中每個(gè)所述蒸發(fā)源有一種有機(jī)化合物，該有機(jī)化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運(yùn)能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運(yùn)能力、或電子注入能力中選擇。
5.一種沉積裝置，該裝置包括：
多個(gè)沉積室；和
多個(gè)在所述沉積室中的蒸發(fā)源；
其中多個(gè)蒸發(fā)源中的每一個(gè)包括至少一種具有不同功能的有機(jī)化合物，和
其中具有不同功能的有機(jī)化合物中的至少二種有機(jī)化合物是由所述的多個(gè)蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)被同時(shí)沉積的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機(jī)化合物層的第1沉積室，
形成第2有機(jī)化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機(jī)化合物層的第3沉積室。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的沉積室，其中：
所述第1有機(jī)化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機(jī)化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機(jī)化合物層發(fā)射藍(lán)光。
8.根據(jù)權(quán)利要求5的沉積裝置，其中每個(gè)所述的蒸發(fā)源具有一種有機(jī)化合物，該有機(jī)化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運(yùn)能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運(yùn)能力、或電子注入能力中選擇。
9.一種沉積裝置，該裝置包括：
裝料室；
具有在金屬掩蔽板和襯底之間進(jìn)行位置對準(zhǔn)功能的定線室；
沉積室；和
在所述沉積室內(nèi)的多個(gè)蒸發(fā)源；
其中裝料室、定線室、和沉積室相互串接：
其中多個(gè)蒸發(fā)源中的每一個(gè)包括至少一種具有不同功能的有機(jī)化合物；和
其中具有不同功能的有機(jī)化合物是由所述多個(gè)蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)被連續(xù)沉積的。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的沉積裝置，其中沉積裝置包括：
形成第1有機(jī)化合物層的第1沉積室，
形成第2有機(jī)化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機(jī)化合物層的第3沉積室。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的沉積室，其中：
所述第1有機(jī)化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機(jī)化合物層發(fā)射綠光，和
所述第3有機(jī)化合物層發(fā)射藍(lán)光。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的沉積裝置，其中每個(gè)所述蒸發(fā)源具有一種有機(jī)化合物，該有機(jī)化合物從一組包括空穴注入能力、空穴輸運(yùn)能力、發(fā)光能力、阻擋能力、電子輸運(yùn)能力、或電子注入能力中選擇。
13.一種沉積裝置，該裝置包括：
裝料室；
具有在金屬掩蔽板和襯底之間進(jìn)行位置對準(zhǔn)功能的定線室；
沉積室；和
在所述沉積室內(nèi)的多個(gè)蒸發(fā)源；
其中裝料室、定線室、和沉積室相互串接：
其中多個(gè)蒸發(fā)源中的每一個(gè)包括至少一種具有不同功能的有機(jī)化合物，和
其中具有不同功能的有機(jī)化合物中的至少兩種是由所述多個(gè)蒸發(fā)源的真空蒸發(fā)同時(shí)被沉積的。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的沉積裝置，其中該沉積裝置包括：
形成第1有機(jī)化合物層的第1沉積室，
形成第2有機(jī)化合物層的第2沉積室，和
形成第3有機(jī)化合物層的第3沉積室。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的沉積裝置，其中：
所述第1有機(jī)化合物層發(fā)射紅光，
所述第2有機(jī)化合物層發(fā)射綠光，
所述第3有機(jī)化合物層發(fā)射藍(lán)光。
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C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
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