[其他]梁膜結構的半導體壓力傳感器無效
| 申請號： | 88211369 | 申請日： | 1988-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN88211369U | 公開（公告）日： | 1988-12-28 |
| 發明（設計）人： | 于連忠;鮑敏杭;吳憲平 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 復旦大學專利事務所 | 代理人： | 陸飛,滕懷流 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 目前廣泛使用的半導體壓力傳感器采用硅的平膜結構，其線性度在高輸出時較差，精度無法提高。本實用新型采用了梁與平膜的組合結構，利用梁結構本身線性較好的特點，并保持了平膜結構的優點，從而制造出一種新型的高精度半導體壓力傳感器。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 膜結構 半導體 壓力傳感器 | ||
【主權項】：
1、一種梁膜結構的半導體壓力傳感器，其特征為在硅膜正面的中間部位有一根由正面光刻、淺腐蝕形成的梁條，梁條兩邊的硅膜成對稱形狀，為敏電阻設置在梁條的中點處或端點處。
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