[其他]一種離子質量數監控及鎖定裝置無效
| 申請號： | 85201295 | 申請日： | 1985-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN85201295U | 公開（公告）日： | 1986-04-09 |
| 發明（設計）人： | 胡瑞雯;符家平;王東宇;萬洪祥 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G05B15/02 | 分類號： | G05B15/02 |
| 代理公司： | 西安交通大學專利事務所 | 代理人： | 王民培,來智勇 |
| 地址： | 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | 一種能夠對離子的質量數加以顯示、控制和準確鎖定的裝置。其鎖定精度在1-75a·m·u范圍內為±0.2a·m·u在75-122a·m·u范圍內為±0.3a·m·u，從而能作到雙電荷、三電荷離子的注入鎖定。將它安裝在離子注入機上，能夠保證離子注入時摻雜的純度、精密度和重復精度，有效地提高了集成電路芯片的成品率。該裝置還可用于需要對離子質量數進行監控和鎖定的冶金、金屬加工以及超導研究等方面。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 質量數 監控 鎖定 裝置 | ||
【主權項】：
1、一種用在離子注入機上，以便對所注入元素的質量數加以監視、控制及鎖定的裝置，其特征在于它由吸極電壓采集單元(2)、磁場信號采集及處理單元(4)、磁場激磁電流調節及控制單元(7)、微型計算機(8)、光耦合隔離器(3)和(6)組成。
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