偷拍一区二区三区_亚洲欧美日韩偷拍_亚洲第一免费网站_99精品视频在线免费观看_久久亚洲精品国产_国产成人无码一二三区视频_欧美激情xxxxx_国产精品毛片高清在线完整版_一色道久久88加勒比一_一区二区欧美久久_五月婷婷六月婷婷_国产精品成人久久久久

[發明專利]一種半導體靶材的安裝工具及半導體芯片生產系統有效

專利信息
申請號: 201810703266.0 申請日: 2018-06-29
公開(公告)號: CN108866493B 公開(公告)日: 2020-05-12
發明(設計)人: 姚力軍;潘杰;王學澤;陳文慶 申請(專利權)人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
主分類號: C23C14/34 分類號: C23C14/34
代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 代理人: 王寧寧
地址: 315000 浙江省寧波*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 半導體 安裝 工具 芯片 生產 系統
【說明書】:

發明提供一種半導體靶材的安裝工具及半導體芯片生產系統,屬于半導體技術領域。其包括工作臺、靶材、銷子、滑塊以及驅動組件;靶材上開設有用于將銷子安裝到靶材上的定位孔,定位孔與滑塊處于同一軸線上;靶材、滑塊以及驅動組件均安裝在工作臺上,驅動組件能夠驅動滑塊朝著定位孔的方向移動;銷子設置在定位孔與滑塊之間,通過滑塊的移動能夠將銷子安裝在定位孔中。該半導體芯片生產系統具有上述的半導體靶材的安裝工具,不僅能夠降低銷子安裝的難度,提高銷子安裝尺寸的精確度,同時還能夠提高安裝效率、減少銷子的報廢量。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域,尤其涉及一種半導體靶材的安裝工具及半導體芯片生產系統。

背景技術

在半導體芯片生產的過程中,靶材(Conmag2Mold Outer)需要通過2個銷子安裝在濺射機臺上面。銷子的安裝尺寸(突出高度1.8+0.0-0.2)十分重要,尺寸過大會導致靶材安裝不上濺射機臺,尺寸過小又會導致靶材從濺射機臺上掉下來。

同時,在現在的安裝技術中,通常使用榔頭在靶材中敲入銷子,該種方式對工人的技術要求較高,工人需要通過長時間的練習才能掌握安裝技術,不適宜推廣,并且由于這種方法過于原始,會限制半導體靶材產量的提升。其次,使用榔頭來進行安裝容易報廢產品,有時候工人精神不集中會敲到產品上面,造成產品的報廢。并且,該種安裝方式容易導致生產效率低下,因為使用榔頭在靶材中敲入銷子,需要敲幾下,就測量一下,看看尺寸是否已經到位了,有時敲大了,需要重新再敲;有時敲小了,要把銷子拔出來,再敲,該種方式太費時間。其次,產品品質得不到提升;由于人工敲出來的尺寸波動范圍較大,雖然都是在1.6mm到1.8mm合格范圍之間,但是如果能把這個范圍縮小一點(比如在1.7mm~1.75mm之間波動),靶材的品質就得到了提升。

發明內容

本發明的目的之一在于提供一種半導體靶材的安裝工具,此半導體靶材的安裝工具旨在解決現有技術中半導體靶材安裝效率低下的問題;

本發明的另一目的在于提供一種半導體芯片生產系統,此半導體芯片生產系統旨在解決現有技術中的半導體靶材安裝品質較差的問題。

為實現上述目的,本發明的技術方案是:

一種半導體靶材的安裝工具,所述半導體靶材的安裝工具包括工作臺、靶材、銷子、滑塊以及驅動組件;

所述靶材上開設有用于將所述銷子安裝到所述靶材上的定位孔,所述定位孔與所述滑塊處于同一軸線上;

所述靶材、所述滑塊以及所述驅動組件均安裝在所述工作臺上,所述驅動組件能夠驅動所述滑塊朝著所述定位孔的方向移動;

所述銷子設置在所述定位孔與所述滑塊之間,通過所述滑塊的移動能夠將所述銷子安裝在所述定位孔中。

作為本發明的一種優選技術方案,所述工作臺上設置有限位組件,所述限位組件能夠限制所述滑塊的移動;所述滑塊上設置有塞規,當所述塞規處于與所述限位組件接觸的位置處時,能夠限制所述滑塊移動。

作為本發明的一種優選技術方案,所述限位組件包括第一擋塊和第二擋塊,所述第一擋塊與所述第二擋塊之間具有定位間隙;所述滑塊呈T型結構,具有本體和安裝部;所述安裝部的一端與所述本體垂直連接,另一端設置在所述定位間隙中,并正對于所述定位孔;所述塞規安裝在所述安裝部上,并與所述安裝部的軸線方向垂直。

作為本發明的一種優選技術方案,所述第一擋塊與所述第二擋塊平行設置。

作為本發明的一種優選技術方案,所述第一擋塊、所述第二擋塊均與所述本體平行間隔設置。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于寧波江豐電子材料股份有限公司,未經寧波江豐電子材料股份有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.17sss.com.cn/pat/books/201810703266.0/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
中文字幕91视频| 国产视频999| 国模无码大尺度一区二区三区| www.com毛片| 亚洲视频电影图片偷拍一区| 蜜芽一区二区三区| 亚洲综合123| 欧美国产欧美亚洲国产日韩mv天天看完整 | 久久久久久久久久久久久久久国产 | 国产精品久久久久久久久久小说| 久久久不卡影院| 亚洲女人久久久| 久久久久久久久久久久久久一区| 欧美日韩黄色影视| 天堂成人在线视频| 亚洲精品成人在线播放| 69影院欧美专区视频| 国产精品污网站| 青青草在线观看视频| 奇米精品在线| 精品成人一区二区| 精品中文字幕一区二区| 爱爱的免费视频| 99久久久久国产精品免费| 日韩欧美在线视频免费观看| 国产国语亲子伦亲子| 手机在线看福利| 2019中文字幕在线| 亚洲国产日产av| 91无套直看片红桃| 在线免费视频a| 欧美一二三视频| 亚洲成人免费电影| 成 人 免费 黄 色| 麻豆传媒在线看| 成人网在线观看| 欧美视频一区在线| 奇米777欧美一区二区| 99久久人妻精品免费二区| 99一区二区| 日韩一级片网站| 国产美女精品人人做人人爽| 国产aaaaaaaaa| 亚洲电影网站| 日韩在线观看免费| 亚洲桃色在线一区| 国产欧美久久久精品免费| 五月天激情播播| 成人免费福利在线| 欧美一区二区三区的| 国产精品亚洲人在线观看| 黑人操日本美女| 日韩视频一二三| 欧美黑人狂野猛交老妇| 亚欧色一区w666天堂| 欧美一区二区黄片| 97超碰在线资源| 日韩三级电影| 日韩中文在线中文网三级| 亚洲欧美日韩久久精品| 精品人妻无码一区二区三区蜜桃一| 韩国三级丰满少妇高潮| 国产精品久久久久久久久久直播 | 欧美国产一区在线| 一级成人免费视频| 天堂va欧美va亚洲va老司机| 精品久久久久久中文字幕动漫| 日韩精品视频在线观看免费| 国产精品污www在线观看| 国产一区二区三区四区视频| 性感美女一区二区三区| 免费久久99精品国产自| 久久精品国产v日韩v亚洲| 亚洲午夜成aⅴ人片| 玖玖国产精品视频| 四虎884aa成人精品| av免费观看国产| 国产欧美一区二区三区久久| 精品国产人成亚洲区| 久久精品男人的天堂| 国产精品久久久午夜夜伦鲁鲁| 东京热av一区| 在线观看精品视频| 日本一区二区三区四区视频| 日韩一区二区精品| 中文字幕精品—区二区四季| www.黄色小说.com| 青青青视频在线免费观看| 精品无码国模私拍视频| 国产在线不卡精品| 日韩不卡在线观看| 亚洲午夜久久久久久久久电影院| 日韩在线卡一卡二| 国产无遮挡又黄又爽在线观看| www.com操| 欧美自拍资源在线| 91禁外国网站| 精品国产一区二区三区忘忧草| 国产日韩av一区二区| 日本黄色不卡视频| 男女免费视频网站| aaaaaaaa毛片| 最新不卡av| 国产精品亚洲视频在线观看| 亚洲人a成www在线影院| 欧美丝袜美女中出在线| av一区二区久久| www.国产视频| 国产一级中文字幕| 台湾佬美性中文| 女女百合国产免费网站| 91亚洲精品在线| 久久久精品2019中文字幕神马| 欧美系列日韩一区| 中文字幕第一区第二区| 日韩激情一区二区| 日韩电影在线观看一区二区| 亚洲理论片在线观看| 日本女优爱爱视频| 少妇免费毛片久久久久久久久| 人人爽久久涩噜噜噜网站| 亚洲欧美一区二区精品久久久| 欧美日韩午夜剧场| 久久久久久久久岛国免费| 爽爽淫人综合网网站| 日批视频免费在线观看| 快灬快灬一下爽蜜桃在线观看| 一本岛在线视频| 懂色av粉嫩av蜜臀av| av日韩中文字幕| 韩国国内大量揄拍精品视频| 国产视频自拍一区| 欧美日韩小视频| 一卡二卡三卡日韩欧美| aaa欧美色吧激情视频| 久久免费黄色| 国产一区二区波多野结衣| 久久久久亚洲av无码专区| 久久无码人妻精品一区二区三区| 999精品视频在线| 免费观看中文字幕| 狠狠色综合色区| 国产欧美一区二区| 97超级碰碰碰久久久| 色阁综合伊人av| 亚洲成人a**站| 欧洲精品中文字幕| 亚洲高清免费视频| 国产精品网站在线| 99re在线精品| 国产一区久久久| 日韩一级片免费看| 国产免费高清视频| 日韩 国产 欧美| 国产91av视频| 三级全黄做爰视频| 精品国产aaa| 极品粉嫩小仙女高潮喷水久久| 久国产精品视频| 欧美私人情侣网站| 全黄性性激高免费视频| 国产成年人在线观看| 欧美日韩天天操| 国产一区免费视频| 1区1区3区4区产品乱码芒果精品| 国产经典一区二区| 国产91精品久久久| 久久久亚洲影院| 美女扒开尿口让男人操亚洲视频网站 | 国产偷国产偷精品高清尤物| 成a人片国产精品| 国产成人免费网站| 国产毛片精品视频| 精品一区二区免费看| 久久久国产亚洲精品| 午夜精品久久久久久久爽| 91亚洲精品国偷拍自产在线观看 | 国产午夜亚洲精品不卡| 成人成人成人在线视频| 国产成人综合自拍| 国产91精品一区二区| 国产精品正在播放| 国产成人免费视频一区| 成人综合在线观看| 北岛玲一区二区三区四区| 懂色av噜噜一区二区三区av| 国产九色精品成人porny| 久久99精品国产麻豆婷婷| 久久99久久99小草精品免视看| 日本成人在线不卡视频| 美日韩一区二区| 久久er99热精品一区二区| 久99久精品视频免费观看| 久久国产精品露脸对白| 久久丁香综合五月国产三级网站 | 亚洲图片小说在线| 一区二区不卡视频| 成年人深夜视频| heyzo亚洲| 凹凸日日摸日日碰夜夜爽1| 黑人粗进入欧美aaaaa| 色91精品久久久久久久久| 欧美成人黄色网址| 中文字幕剧情在线观看| 国产精品入口麻豆| xxxx日本黄色| 欧美三级免费看| 精品欧美一区二区三区免费观看| 欧美性猛交xxxx乱大交hd| 怡春院在线视频| 亚洲第一色网站| 奇米777欧美一区二区| 国产精品1区二区.| 国产亚洲一区字幕| 亚洲靠逼com| 在线观看国产精品网站| 欧美一卡二卡在线| 亚洲男人天堂2019| 色综合视频网站| 国产成人精品久久二区二区91| 亚洲va电影大全| 欧美日韩精品免费观看视一区二区| 杨幂一区欧美专区| 中文字幕日本最新乱码视频| 黄色片子免费看| 特级西西人体wwwww| 国产97免费视频| 色婷婷久久综合中文久久蜜桃av| 六月丁香色婷婷| 国产精品一区二区三区网站| 成人小视频免费在线观看| 国产精品久久久久三级| 色狠狠一区二区三区香蕉| 欧美成人精品高清在线播放| 色综合伊人色综合网| 青青精品视频播放| 精品国产一区二区三| 800av在线免费观看| 红桃视频 国产| 少妇高潮惨叫久久久久| 国产免费一级视频| 久久综合图片| 久久噜噜亚洲综合| 欧美视频不卡中文| 日韩精品视频免费| 91成品人片a无限观看| 国产美女精品久久久| 免费网站在线观看视频| 国产成人av片| 福利一区二区三区四区| 欧美亚洲精品在线观看| 91亚洲永久精品| 欧美性xxxx极品hd欧美风情| 日韩激情片免费| 4p变态网欧美系列| 精品卡一卡二| 国产免费成人在线| 97超碰在线资源| 秋霞av一区二区三区| 免费在线看成人av| 国产精品超碰97尤物18| 欧美一区二区三区四区五区| 欧美高跟鞋交xxxxhd| 国产另类自拍| 99精品人妻少妇一区二区| 国产精品无码电影| 无码视频在线观看| 精品一区二区三区久久久| 亚洲三级久久久| 欧美变态tickle挠乳网站| 久久久久久久91| 久久精彩视频| 成人免费在线观看视频网站| 老司机成人免费视频| 国产成人手机在线| 国产欧美日韩在线视频| 欧美一区二区三区在线| 97免费视频在线| 五码日韩精品一区二区三区视频| √天堂资源在线| 五月婷婷开心网| 狠狠色丁香婷婷综合| 精品久久久久久久中文字幕 | 日本熟妇一区二区三区| 国内精品国产三级国产a久久| 亚洲第一久久影院| 中文字幕亚洲综合久久| 国产精品久久久久久久小唯西川| 久久精品网站视频| 久久婷婷综合国产| 欧美aaa在线| 婷婷一区二区三区| 久久国产精品久久久久| 美脚丝袜一区二区三区在线观看| 亚洲成熟丰满熟妇高潮xxxxx| 黄色a级片在线观看| 日韩国产一区二| 偷拍亚洲欧洲综合| 欧美激情精品久久久久久蜜臀 | 可以直接看的无码av| 国产精品国产一区二区三区四区 | 亚洲成人一二三区| 最新热久久免费视频| 亚洲毛片在线免费观看| 亚洲最大成人免费视频| 成人免费在线观看视频网站| 精品成人av一区二区在线播放| 成人h动漫精品一区二| 欧美一二三四区在线| 国产欧美精品久久久| 国产一区亚洲二区三区| 久久精品这里有| 高清视频一区二区| 日韩丝袜情趣美女图片| 成人黄在线观看| 另类小说色综合| 亚洲精品国产欧美在线观看| 国产日本欧洲亚洲| 亚洲欧洲黄色网| 免费成人av网站| 一区二区不卡免费视频| 亚洲av成人无码网天堂| 懂色av影视一区二区三区| 久久久久久久久久久成人| 国产又粗又长又爽视频| 婷婷色中文字幕| 高清成人在线观看| 欧美精品一区二区三区在线| 99久久自偷自偷国产精品不卡| 日本黄色一级网站| 国产福利免费视频| 亚洲成人一区二区在线观看| 91超碰caoporn97人人| 久久综合久久色| 中文字幕免费观看视频| 亚洲视频一二三| 欧美激情伊人电影| 日韩激情免费视频| 国产日韩久久久| 亚洲免费观看高清完整版在线 | 亚洲免费av网| 东方av正在进入| 成人成人成人在线视频| 亚洲天堂影视av| 最新精品视频| 伊人国产在线观看| 国产丝袜在线精品| 久久久97精品| 激情伊人五月天| 中文字幕+乱码+中文字幕明步| 亚洲日本电影在线| 4438全国成人免费| 亚洲福利精品视频| 亚洲奶汁xxxx哺乳期| 欧美午夜精品理论片a级按摩| 91久热免费在线视频| yy6080午夜| 精品影院一区二区久久久| 亚洲国产毛片完整版| 亚洲三区在线| 亚洲黄色小说图片| 一区二区三区不卡视频| 国产精品高潮呻吟久久av野狼| 久久久精品视频国产| 狂野欧美一区| 日韩精品一区二区三区视频在线观看 | 亚洲午夜精品视频| av无码久久久久久不卡网站| 中文av免费观看| 欧美性感美女h网站在线观看免费| 成人写真视频福利网| 黄色在线观看av| 成人午夜激情在线| www.日韩.com| 欧美伦理片在线看| 久久午夜av| 日韩国产欧美精品一区二区三区| 国产又粗又爽又黄的视频| 午夜久久久久久久久久影院| 天天色天天操综合| 国产精品裸体一区二区三区| 精品自拍偷拍视频| 亚洲人成网站色在线观看| 国产精品成人免费电影| 亚洲 欧美 日韩在线| 成人黄色网址在线观看| 色综合导航网站| 夜夜爽久久精品91| 国产精品香蕉一区二区三区| 亚洲性猛交xxxxwww| 国产l精品国产亚洲区久久| 欧美熟妇另类久久久久久不卡| 日韩欧美一区二区在线视频| 一级黄色片播放| 国内精品国产成人国产三级| 欧美一级高清大全免费观看| 亚洲黄色网址在线观看| 国产精品天天操| 日韩欧美国产精品| 51xx午夜影福利| 亚洲产国偷v产偷v自拍涩爱| 日韩视频免费观看高清完整版 | 2014亚洲精品| 阿v天堂2014| 久久久国产精品无码| 久久国产精品免费观看| 蜜桃视频日韩| 国产又粗又猛又爽视频| 中文字幕精品一区| 国产精品青草久久久久福利99|