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C 化學；冶金
C30 晶體生長
C30B 單晶生長
C30B31-00 單晶或具有一定結構的均勻多晶材料之擴散或摻雜工藝；其所用裝置
C30B31-02 .同固態擴散材料接觸的
C30B31-04 .同液態擴散材料接觸的
C30B31-06 .同氣態擴散材料接觸的
C30B31-20 .電磁波輻照或粒子輻射法摻雜

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