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主分類
A 農業
B 作業；運輸
C 化學；冶金
D 紡織；造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
C 化學；冶金
C30 晶體生長
C30B 單晶生長
C30B25-00 反應氣體化學反應法的單晶生長，例如化學氣相沉積生長
C30B25-02 .外延層生長
C30B25-04 ..圖案沉積，例如使用掩膜的
C30B25-06 ..反應濺射法的
C30B25-08 ..反應室；其所用材料的選擇
C30B25-10 ..反應室或襯底的加熱
C30B25-12 ..襯底夾持器或基座
C30B25-14 ..氣體供給或排出用的裝置；反應氣流的變換
C30B25-16 ..控制或調節
C30B25-18 ..以襯底為特征的
C30B25-22 ..夾層的工藝方法

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